-
Электронная почта
15001764191@163.com
-
Телефон
15214375780
-
Адрес
Шанхайский район Чаннин, улица Яньань, 188, комната 2902.
Shanghai Maoshuo Machinery Equipment Co., Ltd
Продается сверхвакуумный клапан какой лучше
ДоговариваемыйОбновление на03/02
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Швейцарские сверхвысокие вакуумные клапаны серии VAT UHV Ниже приводится подробный технический анализ сверхвысоких вакуумных клапанов серии VAT UHV, охватывающий их характеристики, параметры и сценарии применения, применимые к полупроводникам, научным исследованиям и другим суровым средам:
Подробности о продукте
Швейцарский сверхвысоковакуумный клапан VAT UHV
Основные характеристики серии UHV
1. Позиционирование продукции
типПолнометаллический герметичный сверхвысоковакуумный клапан (Ultra - High Vacuum Valve)
Применение вакуумаА.
Стандартная версия：10⁻⁹ ~ 10⁻ ² мбар
Индивидуальная версияДо 10 м³ мбар (специальный дизайн выпечки)
ключевое преимуществоА.
Нулевая утечка: Коэффициент утечки металлического уплотнения< 1×10 ⁻ 1²mbar = '> (He обнаруживает течь).
Термостойкая выпечка: Корпус клапана выдерживает250°C~300°CВыпекание (стандартная версия) /450°C(Настроенная версия).
Неорганические материалы:: цельнометаллическая конструкция, избегающая загрязнения выхлопными газами.
2. Дизайн
Система двойного уплотнения:: Главное уплотнение (металлическое лезвие) + вторичное уплотнение (эластичная компенсация).
привод с низким крутящим моментом:: Магнитная связь или гофрированная передача, чтобы избежать утечки уплотнения вала.
Чистота материала:: Нержавеющая сталь 316L (электролитическая полировка класса EP), шероховатость поверхности < 0,8 мкм. < >
Классификация моделей и технические параметры
Правила именования моделей (к примеру, VAT UHV 24)
| Сегмент кода | Смысл |
|---|---|
| УГВ | Название серии (сверхвысокий вакуумный клапан) |
| 24 | Размер прохода (24 = DN40, 54 = DN100) |
| Суффикс | Способ привода (например, M = ручной, A = пневматический) |
2. Таблица сравнения подкатегорий
| модель | Проход | Тип фланца | Драйвер | Коэффициент утечки | Температура выпечки | Диапазон цен (¦ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| НДС UHV 24-А | ДН40 | CF-F | Пневматический | <1×10 ⁻ ¹² мбар=''> | 250°C | 50000 - 80000 |
| НДС UHV 54-M | ДН100 | ИСО-К | ручной | <1×10 ⁻ ¹² мбар=''> | 300°C | 120000 - 180000 |
| НДС UHV 10-E | ДН16 | МКФ | электрический | <1×10 ⁻ ¹³ мбар=''> | 450°C (Настройка) | 200000 + |
3. Подробные технические параметры
| параметр | Стандартные значения / диапазоны |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - Коэффициент утечки | <1×10 ⁻ ¹² мбар=''> |
| - Разница в давлении. | 10 ⁻² mbar ~ Атмосферное давление |
| Механические свойства | |
| - Материал клапана. | 316L Нержавеющая сталь (класс EP) |
| - Запечатанные материалы. | Медь / алюминиевое покрытие или анаэробная медь |
| - Циклический срок службы | > 50000 раз (металлическое уплотнение) |
| Электрические / пневматические параметры | |
| - Драйвер. | Пневматический (0,5 ~ 0,7 МПа) / электрический (24V DC) |
| - Время отклика. | Пневматическая версия 1s, электрическая версия ≥5s |
| Экологическая адаптация | |
| - Температура выпечки. | Стандарт 250 °C, заказ 450 °C |
| - Коррозионная стойкость | Совместимость с H2B, O2B, плазмой (требуется покрытие) |
III. Типичный сценарий применения
1. Производство полупроводников
приложениеА.
Изоляция полости резьбовой машины / ионной инжекторной машины (защита от загрязнения частицами).
Поддержка сверхвысокого вакуума в системе молекулярной пучковой эпитаксии (MBE).
Модель рекомендованаА.
VAT UHV 24 - A (DN40, пневматическая быстрая изоляция).
2. Научное оборудование
приложениеА.
Контроль лучевой линии источника синхронного излучения.
Вакуумные секции ядерных термоядерных установок (например, токамак).
Модель рекомендованаА.
VAT UHV 54 - M (DN100, надежное уплотнение вручную).
3. Космос и покрытие
приложениеА.
Испытание вакуумного уплотнения резервуаров для спутникового топлива.
Регулирование давления полости оптического покрытия.
Модель рекомендованаА.
VAT UHV 10 - E (DN16, электрическое прецизионное управление).
IV. Элементы выбора и установки
1. Ключевые факторы отбора
Потребности в проходе: Рассчитано на основе расхода (например, пара DN40 должна быть около 20 L / s @ 10⁻mbar).
ДрайверА.
Пневматический:: Быстрый переключатель (подходит для безопасной изоляции).
электрический:: Можно интегрировать автоматизированное управление (например, PLC).
Фланерский стандартА.
Фланец CF:: Сверхвысокий вакуум (металлическое уплотнение).
Фланец ICF:: Требования в отношении минимального коэффициента утечки (например, 10⁻⁻nenenebw mbar).
2. Инструкции по установке
Требования к очисткеА.
Перед установкой очистите фланец ацетоном / алкоголем (наденьте перчатки без пыли).
Управление крутящим моментомА.
Фланцевый болт CF должен закручиваться шаг за шагом по диагонали (DN40 рекомендуется от 8 до 10 нм).
Рекомендации по выпечкеА.
Температура до 250°C со скоростью 10°C / min, изоляция 48 часов.
V. Техническое обслуживание и устранение неполадок
| Симптом неисправности | возможные причины | решение |
|---|---|---|
| Превышение нормы утечки | Царапины / загрязнение твердыми частицами | Переполировка уплотнения или замена седла клапана |
| Застык клапана | Высокотемпературная деформация / недостаточная смазка | Использование высокотемпературных смазочных материалов (например, Apiezon N) |
| Отказ привода | Отказ электромагнитного клапана (пневматическая версия) | Проверка давления источника газа (≥ 0,5 МПа) |
Похожий продукт рекомендовать
